28.99.20 · Оборудование и аппаратура, исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев
Размечены ровно этим кодом
Ссылка открывает разбор показателя, уже суженный до этого кода: дальше остаётся выбрать территорию и вид ряда.