28.99.5 · Части оборудования и аппаратуры, исключительно или в основном используемой для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев; части прочего оборудования специального назначения
То же место в ОКВЭД2 - виды деятельности, выпускающие эту продукцию: 28.99.5, 264 ряда.
Размечены ровно этим кодом
Ссылка открывает разбор показателя, уже суженный до этого кода: дальше остаётся выбрать территорию и вид ряда.